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Anwendungen und Aufgaben der Vakuumtechnik

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Wutz Handbuch Vakuumtechnik
  • 1521 Accesses

Zusammenfassung

Die Vakuumtechnik hatte spätestens mit Edisons Glühlampenproduktion aus der Nische der reinen Labortechnik herauszutreten. 500 automatische Sprengelpumpen wurden in Edisons erster Fabrik zur Glühlampenproduktion eingesetzt. Seither haben sich viele weitere, sehr bedeutende Industriezweige entwickelt, die auf die Vakuumtechnik angewiesen sind, erwähnt sei hier nur die Mikroelektronikindustrie. Diese Industriezweige sind für die Vakuumtechnik wirtschaftlich wesentlich bedeutender als die physikalische Forschung. Man schätzt, dass in den USA etwa 80% der Verkäufe von vakuumbezogener Ausrüstung allein in die Halbleiterindustrie gehen. Die Bedeutung der Vakuumtechnik für die physikalische Forschung hat jedoch keinesfalls nachgelassen. Kaum ein physikalisches Experiment findet außerhalb des Vakuums statt.

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Literatur

  1. J. R. Arthur, Vacuum Gauging in the electronics industry, J. Vac. Sci. Technol. A 5 (1987), 3230… 3231.

    Article  ADS  Google Scholar 

  2. J. F. O’Hanlon and H. G. Parks, Impact of vacuum equipment contamination on semiconductor yield, J. Vac. Sci. Technol. A 10 (1992), 1863… 1868.

    Google Scholar 

  3. R. K. Waits, Controlling your vacuum process: Effective use of a QMA, Semiconductor International, May, 1994, 79… 84.

    Google Scholar 

  4. M. E. Buckley, Process control in the semiconductor manufacturing environment using a high pressure quadrupole mass spectrometer, Vacuum 44, 1993, 665… 668.

    Article  Google Scholar 

  5. D. Gennermann, Abgasmanagement von Vakuumprozessen moderner Halbleiter-Produktionsanlagen, Vakuum in Forschung und Praxis 1 (2000), 29… 33.

    Article  Google Scholar 

  6. S. Fischer, Fluorvorbehandlungsanlagen mit trockenlaufenden Vakuumpumpen, Vakuum in Forschung und Praxis 2 (2000), 112… 113.

    Article  Google Scholar 

  7. G. Zilly, Entgasung von Wasser unter Vakuum, Vakuum in Forschung und Praxis 3 (2000), 180… 183.

    Article  Google Scholar 

  8. W. , Vakuum in der Abwasseraufbereitung, Vakuum in Forschung und Praxis 2 (1996), 92… 96.

    Article  Google Scholar 

  9. K.-H. Nikutta, Vakuum-Befilllverfahren beim Automobil, Vakuum in Forschung und Praxis 3 (1993), 159… 164.

    Article  Google Scholar 

  10. P. Hix, Vakuum und Musik, Vakuum in Forschung und Praxis 4(1992), 271… 272.

    Article  Google Scholar 

  11. R. Herrmann und P. Rustler, Vakuum-Metallisierung als daktyloskopische Spurensicherungsmethode bei der deutschen Polizei, Vakuum in Forschung und Praxis 1(2002), 30…32.

    Google Scholar 

  12. Scott Faber, Gravity’s Secret, New Scientist, November 1994, 40… 44.

    Google Scholar 

  13. J.P. Hobson, The future of vacuum technology, J. Vac. Sci. Technol. A 2 (1984), 144… 149.

    Article  ADS  Google Scholar 

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Jousten, K. (2004). Anwendungen und Aufgaben der Vakuumtechnik. In: Jousten, K. (eds) Wutz Handbuch Vakuumtechnik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-322-96971-2_2

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  • Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden

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