Zusammenfassung
Die vorgestellten mobilen Mikroroboter arbeiten in der Vakuumkammer eines Rasterelektronenmikroskops. Um den ungewohnten Kraftverhältnissen in der Mikroweit zu begegnen, ist oft auch für einfache Handhabungsaufgaben der Einsatz zweiter Roboter notwendig. Dieser Artikel beschreibt den Einsatz des REMs als Positionssensorsystem, das Voraussetzung für eine automatisierte Koordination der Mikroroboter ist. Zur Höhenmessung wird ein Triangulationsverfahren mit Hilfe des Elektronenstrahls eingesetzt. Es werden erste Ergebnisse und die notwendigen Kalibrierungsmethoden gezeigt.
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Literatur
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Schmoeckel, F., Wörn, H., Kiefer, M. (2001). Das Rasterelektronenmikroskop als Sensorsystem für die Automation mobiler Mikroroboter. In: Levi, P., Schanz, M. (eds) Autonome Mobile Systeme 2001. Informatik aktuell. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-56787-2_18
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