Zusammenfassung
Im Transmissionselektronenmikroskop durchdringen hochbeschleunigte Elektronen eine dünne Festkörperlamelle und erleiden infolge inelastischer Streuung an den Elektronenhüllen spezifische Energieverluste, welche von der Zusammensetzung, vom kristallinen Aufbau und von den Bindungsverhältnissen im Festkörper abhängen. Bei der energiegefilterten Abbildung werden zur Bilddarstellung nur Elektronen aus einem spezifischen Energiefenster genutzt. Damit lassen sich Elementverteilungsbilder („Mappings“) erzeugen.
This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.
Access this chapter
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Author information
Authors and Affiliations
Corresponding author
Rights and permissions
Copyright information
© 2017 Springer-Verlag GmbH Deutschland
About this chapter
Cite this chapter
Bauch, J., Rosenkranz, R. (2017). EFTEM - Energiegefilterte Transmissionselektronenmikroskopie. In: Physikalische Werkstoffdiagnostik. Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_5
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_5
Published:
Publisher Name: Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-662-53951-4
Online ISBN: 978-3-662-53952-1
eBook Packages: Computer Science and Engineering (German Language)