Einleitung

Zusammenfassung

Die Entwicklung der Mikroelektronik — ausgehend vom ersten Transistor 1948 über die erste integrierte Schaltung mit nur 4 Transistoren im Jahr 1962 bis hin zu Speicherbausteinen mit einer Kapazität von 4 Gbit pro Chip — demonstriert die Leistungsfähigkeit der Halbleitertechnologie in eindrucksvoller Weise. Strukturgrößen von 90 nm Weite, die noch vor wenigen Jahren mit optischer Lithografietechnik als unerreichbar galten, werden zurzeit in der Produktion eingesetzt. Ein Ende der Miniaturisierung ist bislang nicht absehbar /1/.