Piezoresistive Drucksensoren mit ionenimplantierter Vollbrücke

Zusammenfassung

Die piezoresistiven Drucksensoren zeichnen sich gegenüber Aufnehmern mit metallischen Dehnungsmeßstreifen durch eine wesentlich höhere Meßempfindlichkeit aus, die sich aus dem sogenannten k-Faktor ergibt (s. Band 3, Abschnitt 4.1.1). Dieser ist als Verhältnis der relativen Widerstandsänderung ΔR/R zur relativen Längenänderung oder Dehnung ΔL/L definiert. Für Halbleiterwerkstoffe wie das hier verwendete Silizium gelten gewöhnlich k-Faktoren von 50...100, während er für rein metallische Materialien etwa 2 beträgt. Die vier zu einer Wheatstone-Brücke geschalteten Piezowiderstände sind in der Druckmembran ionenimplantiert (Bilder 1.1-1 und 1.1-2).