Zusammenfassung
Der seit mehreren Jahrzehnten anhaltende Erfolg der Mikroelektronik beruht im Wesentlichen auf der Eigenschaft der Integrierbarkeit elektronischer Schaltungen, d.h. der Möglichkeit, einzelne Bauelemente gemeinsam auf einem Siliziumplättchen, dem so genannten Chip, herzustellen. Moderne Technologien erlauben dabei Integrationsdichten von mehreren Millionen und mehr Bauelementen pro Chip, was die kostengünstige Herstellung selbst komplexer Schaltungen, wie z.B. Mikroprozessoren, auf einem einzigen Chip von nur wenigen Quadratzentimetern Fläche ermöglicht.
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Göbel, H. (2011). Herstellung integrierter Schaltungen in CMOS-Technik. In: Einführung in die Halbleiter-Schaltungstechnik. Springer-Lehrbuch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-20887-4_12
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Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
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