Ionenzerstäubung von Festkörpern (Sputtering)

Zusammenfassung

Die atomare Erosion einer Festkörperoberfläche durch den Beschuß mit Ionen oder Atomen ausreichender Energie ist seit den Anfängen der Gasentladungsphysik bekannt und wurde zunächst lediglich als Störeffekt beim Betrieb von Gasentladungsröhren eingestuft [5-1]. Wegen der Beschleunigung, die Ionen aus der positiven Säule einer Niederdruckentladung durch den Potentialabfall vor der Katode (Katodenfall) erfahren, tritt dieser Effekt vorwiegend an der Katodenoberfläche auf. Die damit verknüpfte Auslösung von Atomen und — wie man heute weiß — in geringem Maße auch von Molekülen des Katodenmaterials wurde daher als Katodenzerstäubung bezeichnet. Da der Zerstäubungseffekt auch durch den Beschuß einer Oberfläche beispielsweise mit einer Ionenkanone erfolgen kann, verwendet man in der Zwischenzeit die Bezeichnung Ionenzerstäubung. Im Englischen hat sich der Terminus „sputtering“ etabliert, der heute im allgemeinen für die teil-chenbeschußinduzierte Auslösung von Atomen und Molekülen aus einer Festkörperoberfläche benutzt wird.