Herstellung von Nanostrukturen

Zusammenfassung

Die Herstellung von Nanostrukturen in einer definierten Art und Weise stellt eine Herausforderung dar, da hierfür Werkzeuge „feiner“ sein müssen als die Nanostrukturen selbst. Richard Feynman schlug in seinem Vortrag von 1959 vor, die Optik eines Elektronenmikroskops, welches damals schon existierte, umzukehren. Diese sorgt normalerweise dafür, dass kleine Objekte vergrößert werden können, indem man die Oberfläche des Objekts mit Elektronen abtastet. Sein Vorschlag war nun, es statt zur Vergrößerung zur Verkleinerung zu nutzen und somit mit einem fokussierten Strahl aus geladenen Teilchen Nanostrukturen zu schreiben.