Zusammenfassung
Die Analyse erfolgt durch den Beschuss der Oberfläche einer sich im Vakuum befindenden Probe mit Ionen. Die Primärionen werden an den Atomen der obersten Monolage bzw. an den oberen Atomlagen gestreut. Durch den Nachweis der Ionen unter einem bestimmten Winkel zur Beschussrichtung und die Messung der Energie der gestreuten Ionen lässt sich auf die Masse des Atoms schließen, an dem die Streuung stattgefunden hat.
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Bauch, J., Rosenkranz, R. (2017). LEIS, MEIS - Ionenstrahlspektroskopie. In: Physikalische Werkstoffdiagnostik. Springer Vieweg, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-53952-1_39
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