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Physikalische Grundlagen gasgetragener partikulärer Kontaminationen

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Reinraumtechnik

Part of the book series: VDI-Buch ((VDI-BUCH))

  • 9998 Accesses

Zusammenfassung

Viele der heutigen Produkte sind während ihrer Herstellung sehr empfindlich gegenüber Schad- bzw. Fremdstoffen in ihrer Umgebung. Diese Empfindlichkeit war und ist der Auslöser für die Entwicklung und die stetige Weiterentwicklung der sogenannten Reinen Technologien. Die Zielsetzung der Reinen Technologien ist es, die Schad- bzw. Fremdstoffe in der Reichweite der Produkte auf einen vorgegebenen Grenzwert zu reduzieren. Um diese Zielsetzung zu erreichen, sind die einzelnen Stoffströme sowohl im Reinraum als auch in den entsprechenden geschlossenen Prozesssystemen zu betrachten.

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Authors and Affiliations

  1. Institut für Energie- und Umwelttechnik e.V., Bliersheimer Straße 58-60, 47229, Duisburg, Deutschland

    Heinz Fißan

  2. FG Nanostrukturtechnik, Universität Duisburg-Essen, Bismarckstraße 81, 47057, Duisburg, Deutschland

    Andreas Trampe

  3. Institut für Energie- und Umwelttechnik e.V., Bliersheimer Straße 58–60, 47229, Duisburg, Deutschland

    Christof Asbach

Authors
  1. Heinz Fißan
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  2. Andreas Trampe
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  3. Christof Asbach
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Corresponding author

Correspondence to Heinz Fißan .

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Editors and Affiliations

  1. Wiesbaden, Germany

    Lothar Gail

  2. Abteilung Reinst- und Mikroproduktion, Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA, Stuttgart, Germany

    Udo Gommel

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Fißan, H., Trampe, A., Asbach, C. (2018). Physikalische Grundlagen gasgetragener partikulärer Kontaminationen. In: Gail, L., Gommel, U. (eds) Reinraumtechnik. VDI-Buch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-54915-5_2

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