Auszug
Die Komponenten eines Mikrosystems lassen sich unter Anwendung der Prozesse der Halbleitertechnologie, teilweise ergÄnzt um spezielle Bearbeitungsschritte, entweder gemeinsam auf einem Substrat oder unabhÄngig voneinander mit jeweils optimierten Prozessen herstellen. Damit diese einzelnen Funktionsgruppen jedoch als System zusammenwirken können, müssen Schnittstellen zum Informationsaustausch zwischen den Gruppen vorgesehen werden.
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© 2006 B.G. Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaden
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(2006). Sensor- und Aktoreffekte. In: Mikrosystemtechnik. Teubner. https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1_4
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1_4
Publisher Name: Teubner
Print ISBN: 978-3-8351-0003-9
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