Zusammenfassung
In diesem Kapitel werden Funktionsweise und Betriebscharakteristiken von Flüssigkeitsstrahl-, Dampfstrahl- und Diffusionspumpen beschrieben. Allen Pumpen gemeinsam ist das Prinzip, dass das zu pumpende Gas von einem Treibmittelstrahl erfasst und in eine bestimmte Richtung getrieben wird. Sie unterscheiden sich durch die Art der Durchmischung: Während bei den Strahlpumpen die Durchmischung in einer Grenzschicht des Treibstrahls bei viskoser Strömung erfolgt, erfolgt die Durchmischung in einer Diffusionspumpe in molekularer Strömung durch Diffusion.
Notes
- 1.
Eine ausführliche Diskussion der Expansion (Aufweitung) eines Dampfstrahls im Hochvakuum und der Strahlgrenze findet sich in [18].
Literatur
VDMA 24292 Blatt 2. Dampfstrahl-Vakuumpumpen und Dampfstrahl-Verdichter, Messregeln. (1971)
Gaede, W.: Deutsche Patentnummer 286 404 (1913)
Jaeckel, R.: Kleinste Drücke, S. 140 ff. Springer-Verlag, Berlin-Göttingen-Heidelberg (1950)
Rettinghaus G., Huber, W.K.: Backstreaming in diffusion pumps, Trans. 6th Int. Vacuum Congress, Kyoto, 1974, und Vacuum 24, 249 (1974)
Holland, L.: Vacuum 20, 175 (1970)
Hablanian, M.H., Maliakal, J.C.: J. Vac. Sci. Technol. 10, 58 (1973)
Meyer, D.E.: J. Vac. Sci. Technol. 11, 168 (1974)
Burch, C.R.: Nature 122, 729 (1978)
O’Hanlon, J.F.: A User’s Guide to Vacuum Technology. 2. Aufl., S. 215. Wiley, New York (1989)
Ho, T.L.: Physics 2, 386 (1932)
Florescu, N.A.: Vacuum 10, 250 (1960); Vacuum 13, 560 (1963)
Toth, G.: Vakuumtechnik 16, 41 (1960)
Gaede, W.: Ann. Phys. 41, 337 (1913); Ann. Phys. 46, 357 (1915)
Dayton, B.B.: Diffusion and diffusion-ejector pumps. In: Lafferty, J.M. (Hrsg.) Foundations of Vacuum Science and Technology, S. 202. Wiley, New York (1998)
Dushman, S., Lafferty, J.M.: Scientific Foundations of Vacuum Technique. Wiley, New York (1962)
Power, B.D.: High Vacuum Pumping Equipment. Chapman & Hall, London, (1966)
Beck, A.H.: Handbook of Vacuum Physics, Bd. 1: Gases and Vacua, Pergamon Press, Oxford u.a., (1966)
Nöller, H.G.: J. Vac. Sci. Technol. 3(4), 202 (1966)
Fowler, P., Bock, F.J.: J. Vac. Sci. Technol. 7, 507 (1970)
Hablanian, M.: Performance characteristics of displacement type vacuum pumps. J. Vac. Technol. A 4(3), 286–292 (1986)
Nöller, H.G.: Theory of Vacuum Diffusion Pumps. In: Beck, Handbook of Vacuum Technology, Part 6, 322 (1966)
Wutz, M.: Molekular-kinetische Deutung der Wirkungsweise von Diffusionspumpen. Friedr. Vieweg & Sohn, Braunschweig (1969)
Weiterführende Literatur
Hablanian, M.H.: Diffusion Pump Technology, Trans. 6th Int. Vacuum Congress, Kyoto (1974)
Duval, P.: Le Vide 24, 83 (1969)
Jorisch, W.: Vakuumtechnik in der Chemischen Industrie. Wiley-VCH Verlag GmbH., S. 35 ff. (1999)
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Jousten, K., Galda, K. (2017). Treibmittelpumpen. In: Jousten, K. (eds) Handbuch Vakuumtechnik. Springer Reference Technik . Springer Vieweg, Wiesbaden. https://doi.org/10.1007/978-3-658-13403-7_20-1
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